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Ｆｅ−Ｃｏ系合金スパッタリングターゲット材およびその製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20130123512
申请日：
2013-06-12
公开(公告)号：
JP6156734B2
公开(公告)日：
2017-07-05
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
B22F3/15
C22C19/07
C22C38/00
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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