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Ｆｅ−Ａｌ系合金スパッタリングターゲット[ja]
被引：0
申请号：
JP20120548283
申请日：
2012-04-26
公开(公告)号：
JPWO2013046780A1
公开(公告)日：
2015-03-26
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
C22C33/04
C22C38/00
G11B5/31
G11B5/851
G11B7/26
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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