Ａｌ−Ｎｉ−Ｂ系合金スパッタリングターゲット[ja]

被引：0

申请号：

JP20080516659

申请日：

2008-03-19

公开(公告)号：

JPWO2008117706A1

公开(公告)日：

2010-07-15

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

C22C21/00 C23C14/14

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法律状态信息

共 50 条

[1]

Ｆｅ−Ａｌ系合金スパッタリングターゲット[ja] [P].

日本专利 :JPWO2013046780A1 ,2015-03-26

[2]

Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ系合金スパッタリングターゲット材[ja] [P].

日本专利 :JP5656104B2 ,2015-01-21

[3]

Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ系合金スパッタリングターゲット[ja] [P].

日本专利 :JPWO2005093124A1 ,2008-02-14

[4]

Ｆｅ−Ｃｏ系合金スパッタリングターゲット材[ja] [P].

日本专利 :JP6161991B2 ,2017-07-12

[5]

ＦｅＰｔ−Ｃ系スパッタリングターゲット[ja] [P].

日本专利 :JPWO2014132746A1 ,2017-02-02

[6]

ＦｅＰｔ−Ｃ系スパッタリングターゲット[ja] [P].

日本专利 :JPWO2017154741A1 ,2018-10-04

[7]

スパッタリングターゲット材[ja] [P].

HANAWA YUICHIRO ;

KIMURA KENJI ;

ARAKAWA RYUICHI ;

ITO SHINSUKE ;

KASASHIMA TAKASHI ;

YAMAZAKI MASATO .

日本专利 :JP2024007613A ,2024-01-19

[8]

スパッタリングターゲット材[ja] [P].

日本专利 :JPWO2006006522A1 ,2008-04-24

[9]

スパッタリングターゲット及びスパッタリングターゲットの製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2019220675A1 ,2021-07-15

[10]

Ｓｂ−Ｔｅ系合金焼結体スパッタリングターゲット[ja] [P].

日本专利 :JPWO2006059429A1 ,2008-08-07

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