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ＦｅＰｔ−Ｃ系スパッタリングターゲット[ja]
被引：0
申请号：
JP20150502823
申请日：
2014-01-31
公开(公告)号：
JPWO2014132746A1
公开(公告)日：
2017-02-02
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
B22F1/10
C22C1/04
C22C5/04
C22C30/00
C22C33/02
C22C38/00
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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