共 50 条
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ＦｅＰｔ系スパッタリングターゲット及びその製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20130514451
申请日：
2013-01-11
公开(公告)号：
JPWO2013105648A1
公开(公告)日：
2015-05-11
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
B22F3/14
C22C1/05
C22C5/04
C23C14/06
G11B5/64
G11B5/851
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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