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軟磁性膜形成用Ｆｅ−Ｃｏ系合金スパッタリングターゲット材[ja]
被引：0
申请号：
JP20090554282
申请日：
2009-02-12
公开(公告)号：
JPWO2009104509A1
公开(公告)日：
2011-06-23
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
G11B5/667
G11B5/851
H01F10/13
H01F10/16
H01F41/14
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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