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Co-Fe-B系合金ターゲット材[ja]
被引:0
申请号
:
JP20200074715
申请日
:
2020-04-20
公开(公告)号
:
JP7084958B2
公开(公告)日
:
2022-06-15
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
C23C14/34
IPC分类号
:
B22F1/052
B22F3/10
C22C1/04
C22C19/07
C22C33/02
C22C38/00
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
Fe−Co系合金スパッタリングターゲット材[ja]
[P].
日本专利
:JP6161991B2
,2017-07-12
[2]
Fe−Co−Ni系合金スパッタリングターゲット材[ja]
[P].
日本专利
:JP5656104B2
,2015-01-21
[3]
Co−Cr−Pt−B系合金スパッタリングターゲット[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2005093124A1
,2008-02-14
[4]
軟磁性膜形成用Fe−Co系合金スパッタリングターゲット材[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2009104509A1
,2011-06-23
[5]
CoFeB系合金ターゲット材[ja]
[P].
日本专利
:JP6660130B2
,2020-03-04
[6]
Fe−Co系合金スパッタリングターゲット材およびその製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6156734B2
,2017-07-05
[7]
Fe−Co系合金スパッタリングターゲット材およびその製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2013183546A1
,2016-01-28
[8]
Fe−Al系合金スパッタリングターゲット[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2013046780A1
,2015-03-26
[9]
Fe−Co系合金スパッタリングターゲット材およびその製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6050050B2
,2016-12-21
[10]
Al−Ni−B系合金スパッタリングターゲット[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2008117706A1
,2010-07-15
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