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金属酸化物半導体粒子分散体組成物および半導体の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20110257954
申请日：
2011-11-25
公开(公告)号：
JP5936106B2
公开(公告)日：
2016-06-15
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/368
IPC分类号：
B82Y30/00
H01B1/20
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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