共 50 条
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多層膜付き基板とその製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20040546442
申请日：
2003-10-22
公开(公告)号：
JPWO2004038061A1
公开(公告)日：
2006-02-23
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/08
IPC分类号：
C23C14/10
C23C14/34
C23C16/40
C23C16/505
C23C28/04
G02B1/11
G02B5/28
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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