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静電チャック[ja]
被引：0
申请号：
JP20100529749
申请日：
2009-09-14
公开(公告)号：
JPWO2010032703A1
公开(公告)日：
2012-02-09
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
B23Q3/15
H02N13/00
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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