静電チャック装置[ja]

被引：0

申请号：

JP20230114086

申请日：

2023-07-11

公开(公告)号：

JP2025011772A

公开(公告)日：

2025-01-24

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

C04B35/577 H02N13/00

代理机构：

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法律状态信息

共 50 条

[1]

静電チャック[ja] [P].

日本专利 :JPWO2010032703A1 ,2012-02-09

[2]

静電チャック及び静電チャック用の電極シート[ja] [P].

日本专利 :JPWO2007007674A1 ,2009-01-29

[3]

静電チャック装置におけるガス供給構造の製造方法及び静電チャック装置ガス供給構造並びに静電チャック装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009031566A1 ,2010-12-16

[4]

基台、静電チャック装置及び基台の製造方法[ja] [P].

NAKAZAWA YUYA ;

HARADA KENJI .

日本专利 :JP2025111072A ,2025-07-30

[5]

静電チャックの給電構造及びその製造方法並びに静電チャック給電構造の再生方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2008035395A1 ,2010-01-28

[6]

静電チャック、基板処理装置および基板処理方法[ja] [P].

TSUDA EINOSUKE ;

TAKEDA SATOSHI ;

KUSAKA SHUNICHI ;

KAGAYA YASUYUKI .

日本专利 :JP2025074741A ,2025-05-14

[7]

静電チャック装置及び基板の吸着状態判別方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2010026893A1 ,2012-02-02

[8]

圧電ユニット及びアクチュエータ装置[ja] [P].

日本专利 :JP2022176065A ,2022-11-25

[9]

電池ケース及び電池パック[ja] [P].

日本专利 :JP2024547177A ,2024-12-26

[10]

マイクロチャネル熱交換器[ja] [P].

日本专利 :JP3240635U ,2023-01-25

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