シリコーン骨格含有高分子化合物、感光性樹脂組成物、感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム、積層体、及びパターン形成方法[ja]

被引:0
申请号
JP20170153884
申请日
2017-08-09
公开(公告)号
JP6866802B2
公开(公告)日
2021-04-28
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C08G77/48
IPC分类号
B32B27/00 C09J183/04 G03F7/004 G03F7/038 G03F7/075
代理机构
代理人
法律状态
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[2]
感光性樹脂組成物及びパターン形成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2008001782A1 ,2009-11-26
[4]
ネガ型感光性樹脂組成物、中空構造体の製造方法及び高分子化合物[ja] [P]. 
YUGE SHIORI ;
YAMAGATA KENICHI .
日本专利 :JP2023184074A ,2023-12-28
[6]
ネガ型感光性樹脂組成物、ネガ型感光性樹脂組成物被膜、ネガ型感光性樹脂組成物フィルム、硬化膜、およびこれらを用いた電子部品[ja] [P]. 
MATSUMURA KAZUYUKI ;
KATO KEIGO ;
ARIMITSU KOJI .
日本专利 :JP2024023052A ,2024-02-21
[7]