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带电粒子设备、带电粒子评估装置、测量方法以及监测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280084052.4
申请日：
2022-11-22
公开(公告)号：
CN118414684A
公开(公告)日：
2024-07-30
发明(设计)人：
任岩
M·斯科特兹
A·V·G·曼格努斯
E·P·斯马克曼
申请人：
ASML荷兰有限公司
申请人地址：
荷兰维德霍温
IPC主分类号：
H01J37/04
IPC分类号：
H01J37/12
H01J37/244
H01J37/26
H01J37/28
H01J37/317
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
姚宗妮
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/04申请日:20221122 |
| 2024-07-30 | 公开 | 公开 |