用于制造集成MEMS换能器设备的方法和集成MEMS换能器设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980074084.4

申请日：

2019-11-04

公开(公告)号：

CN112996746B

公开(公告)日：

2024-07-19

发明(设计)人：

凯拉什·维贾亚库马尔瑞曼科·亨里克斯·威廉姆斯·皮内伯格威廉·弗雷德里克·阿德里亚努斯·贝斯林索菲·吉耶曼耶格·西格特

申请人：

希奥检测有限公司

申请人地址：

荷兰埃因霍温

IPC主分类号：

B81C1/00

IPC分类号：

代理机构：

北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413

代理人：

侯丽英;刘继富

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-19	授权	授权

共 50 条

[1]

用于制造集成MEMS换能器设备的方法和集成MEMS换能器设备 [P].

凯拉什·维贾亚库马尔 ;

瑞曼科·亨里克斯·威廉姆斯·皮内伯格 ;

威廉·弗雷德里克·阿德里亚努斯·贝斯林 ;

索菲·吉耶曼 ;

耶格·西格特 .

中国专利 :CN112996746A ,2021-06-18

[2]

集成MEMS换能器 [P].

T·胡克斯特拉 .

中国专利 :CN108602666A ,2018-09-28

[3]

MEMS换能器和用于制造MEMS换能器的方法 [P].

W·克莱因 ;

K·吉尔 ;

M·迈耶 .

中国专利 :CN110881163A ,2020-03-13

[4]

换能器、包括换能器的MEMS设备及用于制造换能器的方法 [P].

L·塞吉齐 ;

F·韦尔切西 ;

C·佩德里尼 .

中国专利 :CN112672260A ,2021-04-16

[5]

换能器和MEMS设备 [P].

L·塞吉齐 ;

F·韦尔切西 ;

C·佩德里尼 .

中国专利 :CN214154836U ,2021-09-07

[6]

MEMS换能器、MEMS麦克风以及制造MEMS换能器的方法 [P].

熊伟 ;

何飞 ;

饭岛淳 .

中国专利 :CN112423210A ,2021-02-26

[7]

MEMS声学换能器元件和制造MEMS声学换能器元件的方法 [P].

M·施泰尔特 ;

H·托伊斯 .

中国专利 :CN108696811B ,2018-10-23

[8]

用于MEMS换能器的系统和方法 [P].

A·韦斯鲍尔 ;

C·曼德尔 ;

M·菲尔德纳 ;

S-T·徐 .

中国专利 :CN104640038A ,2015-05-20

[9]

用于MEMS换能器的系统和方法 [P].

V·K·拉贾拉曼 ;

Y·阿纳恩蒂古 ;

A·德厄 ;

S·科尔布 .

中国专利 :CN106289386A ,2017-01-04

[10]

用于MEMS换能器的系统和方法 [P].

W·克莱因 ;

M·武尔策 ;

S·巴曾 ;

A·德厄 .

中国专利 :CN106170119A ,2016-11-30

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