一种磷化铟单晶的制备方法和磷化铟单晶生长用阶梯式坩埚

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专利类型
发明
申请号
CN202411083679.5
申请日
2024-08-08
公开(公告)号
CN118773718A
公开(公告)日
2024-10-15
发明(设计)人
王金灵 齐正阳 陈伟杰
申请人
广东先导微电子科技有限公司
申请人地址
511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间
IPC主分类号
C30B11/00
IPC分类号
C30B29/40
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
林哲生
法律状态
实质审查的生效
国省代码
江苏省 常州市
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共 50 条
[1]
磷化铟单晶和磷化铟单晶衬底 [P]. 
桥尾克司 ;
鸿池一晓 ;
柳泽拓弥 .
日本专利 :CN112204175B ,2024-03-26
[2]
磷化铟单晶和磷化铟单晶衬底 [P]. 
桥尾克司 ;
鸿池一晓 ;
柳泽拓弥 .
中国专利 :CN112204175A ,2021-01-08
[3]
磷化铟单晶的制备方法以及磷化铟单晶 [P]. 
摆易寒 ;
沈桂英 ;
赵有文 ;
谢辉 ;
卢伟 ;
李晨慧 ;
杨文文 ;
吕鑫雨 ;
范江涛 .
中国专利 :CN119776991A ,2025-04-08
[4]
磷化铟单晶衬底以及磷化铟单晶的制造方法 [P]. 
木户优花 ;
坂本良二 ;
柳泽拓弥 ;
善积祐介 ;
桥尾克司 .
日本专利 :CN119768572A ,2025-04-04
[5]
基于双层坩埚的磷化铟单晶生长方法 [P]. 
邵广育 ;
卜英瀚 ;
胡昌勇 .
中国专利 :CN117702275A ,2024-03-15
[6]
基于双层坩埚的磷化铟单晶生长方法 [P]. 
邵广育 ;
卜英瀚 ;
胡昌勇 .
中国专利 :CN117702275B ,2024-04-19
[7]
一种磷化铟单晶的生长方法 [P]. 
段满龙 .
中国专利 :CN117845330A ,2024-04-09
[8]
可控磷化铟单晶生长装置 [P]. 
朱建华 ;
曾平生 ;
王坚 ;
刘芳芳 ;
刘重伟 ;
吴选高 ;
彭彦 ;
黄大霜 .
中国专利 :CN221956232U ,2024-11-05
[9]
磷化铟基板、磷化铟单晶及其制造方法 [P]. 
川瀬智博 .
中国专利 :CN1784514A ,2006-06-07
[10]
一种磷化铟单晶的制备方法 [P]. 
王金灵 ;
齐正阳 ;
陈伟杰 .
中国专利 :CN118773717A ,2024-10-15