二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210249196.2

申请日：

2022-03-14

公开(公告)号：

CN114577729B

公开(公告)日：

2024-09-20

发明(设计)人：

王然张喆张昆鹏赵泓达岳嵩王磊李博张学文张紫辰

申请人：

中国科学院微电子研究所

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G01N21/01

IPC分类号：

G01N21/88 G01N21/95

代理机构：

北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667

代理人：

赵永刚

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-20	授权	授权

共 50 条

[21]

二次谐波产生的晶体 [P].

W·西勒特 ;

R·冯·埃尔姆 .

中国专利 :CN115427878A ,2022-12-02

[22]

激光扫描式二次谐波显微系统及二次谐波测试方法 [P].

李千 ;

李为 .

中国专利 :CN115112573B ,2025-01-24

[23]

激光扫描式二次谐波显微系统及二次谐波测试方法 [P].

李千 ;

李为 .

中国专利 :CN115112573A ,2022-09-27

[24]

基于空间光调控技术提高二次谐波表征精度的方法及系统 [P].

王然 ;

曲世田 ;

蒋广通 ;

付悦 ;

岳嵩 ;

刘峥岩 ;

石海燕 ;

张紫辰 .

中国专利 :CN120690702A ,2025-09-23

[25]

二次谐波产生(SHG)光学检查系统设计 [P].

雷鸣 .

中国专利 :CN113167741A ,2021-07-23

[26]

二次谐波对消装置和DAS远端机 [P].

颜光耀 ;

褚兆文 ;

陈观玉 ;

李泽期 .

中国专利 :CN211239846U ,2020-08-11

[27]

一种二次光学系统 [P].

梅勇祥 ;

辛忠华 ;

陈菊 ;

于杨杨 .

中国专利 :CN220851865U ,2024-04-26

[28]

基于二次谐波扫描的晶圆检测方法及系统 [P].

张鸣皓 ;

黄崇基 ;

赵威威 ;

周朴希 .

中国专利 :CN120432396A ,2025-08-05

[29]

经二次谐波的激光直写系统 [P].

王伟 ;

严俊杰 ;

潘诚达 .

中国专利 :CN119747905A ,2025-04-04

[30]

各向异性二次谐波探测装置 [P].

戴俊峰 .

中国专利 :CN117705727A ,2024-03-15

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