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套刻标记、光学像差评价方法、套刻标记质量评价方法、套刻测量装置及方法以及半导体器件的制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410234594.6
申请日：
2024-03-01
公开(公告)号：
CN118584758A
公开(公告)日：
2024-09-03
发明(设计)人：
李铉哲
申请人：
奥路丝科技有限公司
申请人地址：
韩国
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
代理机构：
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人：
许静;宋海花
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20240301 |
| 2024-09-03 | 公开 | 公开 |