平坦化工具及其操作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410297077.3

申请日：

2024-03-15

公开(公告)号：

CN118493244A

公开(公告)日：

2024-08-16

发明(设计)人：

王上瑜

申请人：

台湾积体电路制造股份有限公司

申请人地址：

中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号

IPC主分类号：

B24B37/10

IPC分类号：

B24B37/005 B24B37/013 B24B49/04 B24B49/10

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/10申请日:20240315
2024-08-16	公开	公开

共 50 条

[1]

化学机械平坦化工具 [P].

颜宏 ;

廖高锋 ;

何信颖 ;

萧钧文 ;

庄胜超 ;

张庭熏 ;

黄富明 ;

林均洁 ;

张简鹏崇 ;

崔骥 ;

陈亮光 ;

陈志宏 ;

陈科维 .

中国专利 :CN112405335A ,2021-02-26

[2]

化学机械平坦化工具 [P].

龚俊豪 ;

王上瑜 ;

蔡晴翔 ;

黄惠琪 ;

陈科维 .

中国专利 :CN112238395A ,2021-01-19

[3]

电子装置及其操作方法 [P].

裵祥根 ;

黃敏淳 .

中国专利 :CN109473134A ,2019-03-15

[4]

监测系统及其操作方法 [P].

沈旻奎 ;

金俊希 ;

朴钟奭 ;

韩基悳 ;

朴洙完 ;

全奇英 ;

李载焕 .

韩国专利 :CN118302785A ,2024-07-05

[5]

风能系统及其操作方法 [P].

V·谢林斯 .

中国专利 :CN101096942B ,2008-01-02

[6]

储存装置及其操作方法 [P].

徐智贤 .

中国专利 :CN108694977B ,2018-10-23

[7]

平坦化工艺方法 [P].

纪登峰 ;

金懿 ;

张庆 ;

刘璐 ;

蒋莉 .

中国专利 :CN110729185B ,2020-01-24

[8]

电动工具系统及其操作方法 [P].

李希文 ;

李永民 ;

廉海 ;

许典武 .

中国专利 :CN109421032A ,2019-03-05

[9]

空中机动交通工具及其操作方法 [P].

郑遇锡 ;

李熙光 ;

洪贤硕 ;

全贤雨 .

中国专利 :CN114368484A ,2022-04-19

[10]

平坦化工艺方法 [P].

吴玉萍 ;

金懿 ;

邵群 ;

林先军 .

中国专利 :CN110957215B ,2020-04-03

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