一种石墨舟防走偏推舟机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420046923.X

申请日：

2024-01-09

公开(公告)号：

CN221480073U

公开(公告)日：

2024-08-06

发明(设计)人：

严俊斌魏朋飞郑济宁权志强史兴华

申请人：

一道新能源科技股份有限公司

申请人地址：

324022 浙江省衢州市衢江区百灵南路43号

IPC主分类号：

C23C16/458

IPC分类号：

H01L31/18 H01L21/677 C23C16/52

代理机构：

北京盛广信合知识产权代理有限公司 16117

代理人：

程晶晶

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种石墨舟的推舟装置 [P].

张宇 ;

吴德轶 .

中国专利 :CN205024323U ,2016-02-10

[2]

一种石墨舟平移机构 [P].

费晓杰 .

中国专利 :CN206666683U ,2017-11-24

[3]

一种石墨舟 [P].

卜涛 ;

李华 ;

童洪波 ;

鲁伟明 ;

郭梦龙 ;

刘庆平 ;

刘继宇 .

中国专利 :CN217009145U ,2022-07-19

[4]

一种石墨舟 [P].

陈炎 ;

夏丹丹 ;

胡玉婷 .

中国专利 :CN216445461U ,2022-05-06

[5]

一种石墨舟舟片、石墨舟及硅片镀膜设备 [P].

高凤海 ;

费正洪 ;

李栋 .

中国专利 :CN209418475U ,2019-09-20

[6]

一种石墨舟卡点及石墨舟 [P].

王亚楠 ;

谈仕祥 ;

施佳伟 ;

缪杰 .

中国专利 :CN216663230U ,2022-06-03

[7]

一种石墨舟和石墨舟镀膜设备 [P].

郑峰峰 .

中国专利 :CN213184235U ,2021-05-11

[8]

一种石墨舟外舟页及石墨舟 [P].

金晨淦 ;

金刚刚 ;

马政 ;

任良为 ;

何悦 .

中国专利 :CN215560656U ,2022-01-18

[9]

一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构 [P].

肖洁 ;

李斌 ;

曹明旺 .

中国专利 :CN106756892A ,2017-05-31

[10]

一种石墨舟平移机构 [P].

费晓杰 .

中国专利 :CN106948010A ,2017-07-14

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