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一种晶圆搬运机械手主轴结构
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411081961.X
申请日：
2024-08-08
公开(公告)号：
CN118596129A
公开(公告)日：
2024-09-06
发明(设计)人：
董渠
徐兴光
王彭
林坚
申请人：
泓浒（苏州）半导体科技有限公司
申请人地址：
215000 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室
IPC主分类号：
B25J9/12
IPC分类号：
B25J9/10
代理机构：
苏州尚为知识产权代理事务所(普通合伙) 32483
代理人：
印丹
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省
苏州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B25J 9/12申请日:20240808 |
| 2024-09-06 | 公开 | 公开 |
| 2024-12-06 | 授权 | 授权 |