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一种晶圆清洗方法及晶圆清洗装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410366136.8
申请日：
2024-03-28
公开(公告)号：
CN118315305A
公开(公告)日：
2024-07-09
发明(设计)人：
耿玓
王桂磊
赵超
李伟伟
卢年端
李泠
申请人：
北京超弦存储器研究院
中国科学院微电子研究所
申请人地址：
100176 北京市大兴区科创十街18号院11号楼四层401室
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
北京八月瓜知识产权代理有限公司 11543
代理人：
白鹤
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
北京市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-07-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240328 |
| 2024-07-09 | 公开 | 公开 |