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一种外延晶圆的电阻率检测方法、装置及外延晶圆
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410542361.2
申请日：
2024-04-30
公开(公告)号：
CN118448244A
公开(公告)日：
2024-08-06
发明(设计)人：
张奔
请求不公布姓名
孙毅
张坤宇
申请人：
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安欣芯材料科技有限公司
申请人地址：
710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
IPC主分类号：
H01L21/02
IPC分类号：
G01R27/02
H01L21/67
H01L21/66
代理机构：
西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253
代理人：
沈寒酉;姚勇政
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-08-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/02申请日:20240430 |
| 2024-08-06 | 公开 | 公开 |