用于制备外延晶圆的方法、系统及外延晶圆

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510770537.4

申请日：

2025-06-10

公开(公告)号：

CN120905774A

公开(公告)日：

2025-11-07

发明(设计)人：

俎世琦方圭哲张海博

申请人：

西安奕斯伟材料科技股份有限公司

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

C30B25/16

IPC分类号：

H01L21/02 C30B25/08 C30B25/12 C23C16/24 C23C16/458

代理机构：

西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253

代理人：

宋东阳;李斌栋

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-25	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 25/16申请日:20250610
2025-11-07	公开	公开

共 50 条

[1]

外延生长方法及外延晶圆 [P].

杨金柱 ;

王力 .

中国专利 :CN115948797B ,2025-05-09

[2]

外延晶圆的制造系统及外延晶圆的制造方法 [P].

和田直之 .

中国专利 :CN113539802A ,2021-10-22

[3]

预热环、晶圆外延生长设备、外延生长方法及外延硅晶圆 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN120210953A ,2025-06-27

[4]

外延晶圆制备方法及系统 [P].

孙毅 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN117637451A ,2024-03-01

[5]

基座、外延生长设备及外延晶圆 [P].

何斌斌 ;

俎世琦 .

中国专利 :CN120400986A ,2025-08-01

[6]

用于外延生长设备的支撑结构、外延生长设备及外延晶圆 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN118910720A ,2024-11-08

[7]

外延晶圆以及外延晶圆的制造方法和装置 [P].

俎世琦 ;

方圭哲 ;

张海博 .

中国专利 :CN120866935A ,2025-10-31

[8]

外延生长方法及外延晶圆 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN119320986A ,2025-01-17

[9]

外延生长设备、外延生长方法以及外延晶圆 [P].

孙毅 ;

杨海龙 .

中国专利 :CN119764210A ,2025-04-04

[10]

外延生长设备、外延生长方法以及外延晶圆 [P].

孙毅 ;

杨海龙 .

中国专利 :CN119764210B ,2025-11-18

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