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一种基于机器视觉的半导体表面缺陷检测方法及系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410688035.2
申请日：
2024-05-30
公开(公告)号：
CN118583862A
公开(公告)日：
2024-09-03
发明(设计)人：
许海渐
王海荣
申凡平
孙军伟
申请人：
南通优睿半导体有限公司
申请人地址：
226000 江苏省南通市启东市南苑西路1188号
IPC主分类号：
G01N21/88
IPC分类号：
G01N21/01
G06F18/214
代理机构：
江苏南通启海专利商标代理事务所(普通合伙) 32812
代理人：
张广宇
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省
南通市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-03 | 公开 | 公开 |
| 2025-12-19 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回IPC(主分类):G01N 21/88申请公布日:20240903 |
| 2024-09-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/88申请日:20240530 |