半导体晶圆表面缺陷视觉检测方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510143590.1

申请日：

2025-02-10

公开(公告)号：

CN120064313A

公开(公告)日：

2025-05-30

发明(设计)人：

陆小龙陆小慧

申请人：

阿基视觉科技（东莞）有限公司

申请人地址：

523808 广东省东莞市松山湖园区学府路1号7栋402室

IPC主分类号：

G01N21/95

IPC分类号：

G01N21/88 G01N21/01 G06T7/00 G06V10/26 G06V10/30 G06V10/44 G06V10/82 G06V10/762

代理机构：

广州中傲知识产权代理事务所(普通合伙) 441180

代理人：

吴文玉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-17	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/95申请日:20250210
2025-05-30	公开	公开

共 50 条

[1]

一种半导体晶圆表面缺陷视觉检测系统 [P].

洪亚德 ;

陈松岩 ;

潘书万 ;

林中龙 .

中国专利 :CN217983270U ,2022-12-06

[2]

基于机器视觉的半导体晶圆缺陷检测方法及系统 [P].

惠洁 ;

李硕硕 ;

张永帅 ;

胡浩 ;

顾云龙 .

中国专利 :CN119850568A ,2025-04-18

[3]

一种半导体晶圆表面缺陷检测设备及检测方法 [P].

刘影影 .

中国专利 :CN121027138A ,2025-11-28

[4]

半导体晶圆表面的芯片检测方法及系统 [P].

崔小乐 ;

汤梦华 ;

王超 ;

赵勇胜 ;

蒙正国 ;

云星 ;

李茹 ;

刘建强 ;

林金龙 .

中国专利 :CN102023168B ,2011-04-20

[5]

晶圆表面缺陷的检测方法、装置及半导体制造系统 [P].

于海英 .

中国专利 :CN120791647A ,2025-10-17

[6]

晶圆表面缺陷的视觉检测方法及系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN117808809A ,2024-04-02

[7]

晶圆表面缺陷的视觉检测方法及系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN117808809B ,2024-05-14

[8]

半导体晶圆表面缺陷在线检测装置 [P].

唐轩波 ;

唐浩然 ;

易波 ;

段小平 .

中国专利 :CN120109040A ,2025-06-06

[9]

半导体晶圆表面缺陷在线检测装置 [P].

唐轩波 ;

唐浩然 ;

易波 ;

段小平 .

中国专利 :CN120109040B ,2025-07-29

[10]

基于视觉图像交互的半导体晶圆检测方法及系统 [P].

罗建华 ;

庞飞龙 ;

陈强 ;

王乐园 ;

古奕康 ;

李志才 .

中国专利 :CN117522871B ,2024-04-16

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