半导体晶圆表面缺陷在线检测装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510484895.9

申请日：

2025-04-17

公开(公告)号：

CN120109040A

公开(公告)日：

2025-06-06

发明(设计)人：

唐轩波唐浩然易波段小平

申请人：

深圳市三维机电设备有限公司

申请人地址：

518100 广东省深圳市龙华区观澜街道库坑社区库坑同富裕工业区101、201,8-2号厂房1-2层

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L21/677 H01L21/687

代理机构：

北京启航嘉知识产权代理有限公司 16264

代理人：

陈伟斯

法律状态：

公开

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-06	公开	公开
2025-06-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20250417
2025-07-29	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体晶圆表面缺陷在线检测装置 [P].

唐轩波 ;

唐浩然 ;

易波 ;

段小平 .

中国专利 :CN120109040B ,2025-07-29

[2]

高精度半导体晶圆表面缺陷在线检测装置 [P].

张春霞 ;

沈红星 ;

盛道亮 ;

王超群 .

中国专利 :CN118961749A ,2024-11-15

[3]

一种半导体晶圆表面缺陷视觉检测系统 [P].

洪亚德 ;

陈松岩 ;

潘书万 ;

林中龙 .

中国专利 :CN217983270U ,2022-12-06

[4]

一种半导体晶圆缺陷检测装置 [P].

张玉恒 ;

汪东梦 ;

刘强 ;

笪晨 ;

罗端 .

中国专利 :CN119757204A ,2025-04-04

[5]

一种半导体晶圆缺陷检测装置 [P].

熊利寒 ;

陈思媛 ;

赵红满 .

中国专利 :CN220983092U ,2024-05-17

[6]

半导体晶圆表面缺陷视觉检测方法及系统 [P].

陆小龙 ;

陆小慧 .

中国专利 :CN120064313A ,2025-05-30

[7]

铜导线表面缺陷在线检测装置 [P].

薛琅 ;

陈世恒 ;

王式马 ;

任建宇 ;

谢斌卿 ;

熊锋 ;

郑传才 ;

舒洪广 ;

杨贤鸟 ;

叶保良 .

中国专利 :CN221899084U ,2024-10-25

[8]

一种半导体晶圆表面缺陷检测设备及检测方法 [P].

刘影影 .

中国专利 :CN121027138A ,2025-11-28

[9]

一种半导体晶圆缺陷检测装置 [P].

陈宗廷 ;

朱放中 ;

于铁牛 .

中国专利 :CN223470977U ,2025-10-24

[10]

晶圆表面缺陷检测系统 [P].

江静 ;

包峰 .

中国专利 :CN217822662U ,2022-11-15

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