共 50 条
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用于处理基板的装置和方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010626524.7
申请日：
2020-07-01
公开(公告)号：
CN112185792B
公开(公告)日：
2024-07-02
发明(设计)人：
金大炫
申请人：
细美事有限公司
申请人地址：
韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号
IPC主分类号：
H01J37/32
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：
侯志源
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-07-02 | 授权 | 授权 |