用于处理基板的装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010589986.6

申请日：

2020-06-24

公开(公告)号：

CN112151346B

公开(公告)日：

2024-11-05

发明(设计)人：

全炳建金铉镇尹基星成哓星安宗焕

申请人：

细美事有限公司

申请人地址：

韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01J37/244

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

车今智

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-05	授权	授权

共 50 条

[1]

用于处理基板的装置和方法 [P].

全炳建 ;

金铉镇 ;

尹基星 ;

成哓星 ;

安宗焕 .

中国专利 :CN112151346A ,2020-12-29

[2]

用于处理基板的装置和方法 [P].

金大炫 .

中国专利 :CN112185792A ,2021-01-05

[3]

用于处理基板的装置和方法 [P].

金大炫 .

韩国专利 :CN112185792B ,2024-07-02

[4]

用于处理基板的装置和方法 [P].

具滋明 ;

安宗焕 ;

朴君昊 ;

赵台勋 ;

桑特·阿雷克赖恩 .

中国专利 :CN112151348A ,2020-12-29

[5]

用于处理基板的装置和方法 [P].

李东夏 .

中国专利 :CN112185794A ,2021-01-05

[6]

用于处理基板的装置和方法 [P].

具滋明 ;

安宗焕 ;

朴君昊 ;

赵台勋 ;

桑特·阿雷克赖恩 .

韩国专利 :CN112151348B ,2024-08-30

[7]

用于处理基板的装置和方法 [P].

姜廷锡 ;

梁映轘 ;

卢收练 .

中国专利 :CN112447485A ,2021-03-05

[8]

用于处理基板的方法和设备 [P].

万一扬 ;

叶伟峰 ;

张书锚 ;

侯凯中 ;

吕疆 ;

周磊 ;

吴典晔 ;

道格拉斯·龙 ;

阿夫耶里诺斯·V·杰拉托斯 ;

江莹冰 ;

汪荣军 ;

唐先敏 ;

哈伯特·冲 .

美国专利 :CN119563225A ,2025-03-04

[9]

用于处理基板的装置和方法 [P].

崔镇雨 ;

吴承俊 ;

南镇祐 ;

李章熙 ;

朴永鹤 ;

徐安娜 .

韩国专利 :CN114695059B ,2025-10-14

[10]

用于处理基板的装置和方法 [P].

金大炫 ;

罗世源 ;

朴宣柱 .

中国专利 :CN112242285A ,2021-01-19

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