用于处理基板的方法和设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280096282.2

申请日：

2022-07-05

公开(公告)号：

CN119563225A

公开(公告)日：

2025-03-04

发明(设计)人：

万一扬叶伟峰张书锚侯凯中吕疆周磊吴典晔道格拉斯·龙阿夫耶里诺斯·V·杰拉托斯江莹冰汪荣军唐先敏哈伯特·冲

申请人：

应用材料公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;吴启超

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-04	公开	公开
2025-03-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20220705

共 50 条

[1]

用于处理基板的设备和用于处理基板的方法 [P].

金东勋 ;

朴玩哉 ;

李城吉 ;

李知桓 ;

严永堤 ;

吴东燮 ;

卢明燮 .

中国专利 :CN113410162A ,2021-09-17

[2]

用于处理基板的设备和用于处理基板的方法 [P].

金东勋 ;

朴玩哉 ;

李城吉 ;

李知桓 ;

严永堤 ;

吴东燮 ;

卢明燮 .

韩国专利 :CN113410162B ,2024-11-15

[3]

用于处理基板的装置和方法 [P].

金大炫 .

中国专利 :CN112185792A ,2021-01-05

[4]

用于处理基板的装置和方法 [P].

全炳建 ;

金铉镇 ;

尹基星 ;

成哓星 ;

安宗焕 .

韩国专利 :CN112151346B ,2024-11-05

[5]

用于处理基板的装置和方法 [P].

金大炫 .

韩国专利 :CN112185792B ,2024-07-02

[6]

用于处理基板的装置和方法 [P].

全炳建 ;

金铉镇 ;

尹基星 ;

成哓星 ;

安宗焕 .

中国专利 :CN112151346A ,2020-12-29

[7]

用于处理基板的设备和用于处理基板的方法 [P].

金铉玟 ;

安迎曙 .

韩国专利 :CN114695192B ,2025-06-27

[8]

用于处理基板的设备和用于处理基板的方法 [P].

金铉玟 ;

安迎曙 .

中国专利 :CN114695192A ,2022-07-01

[9]

用于处理基板的设备和方法 [P].

梁日光 .

中国专利 :CN101952939A ,2011-01-19

[10]

用于处理基板的设备和方法 [P].

郑镇优 ;

李暎熏 ;

李龙熙 ;

林义相 .

中国专利 :CN110767574A ,2020-02-07

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