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用于处理基板的装置和方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010683613.5
申请日：
2020-07-15
公开(公告)号：
CN112242285A
公开(公告)日：
2021-01-19
发明(设计)人：
金大炫
罗世源
朴宣柱
申请人：
申请人地址：
韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号
IPC主分类号：
H01J37305
IPC分类号：
H01J3732
H01L213065
代理机构：
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：
车今智
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-19 | 公开 | 公开 |
| 2021-08-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/305 申请日:20200715 |