一种大翘曲晶圆回流过程翘曲控制装置及回流焊接方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410522691.5

申请日：

2024-04-28

公开(公告)号：

CN118571786A

公开(公告)日：

2024-08-30

发明(设计)人：

谢爽林鹏荣王勇谢晓辰黄颖卓徐士猛文惠东

申请人：

北京微电子技术研究所北京时代民芯科技有限公司

申请人地址：

100076 北京市丰台区东高地四营门北路2号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/60 B23K3/08

代理机构：

中国航天科技专利中心 11009

代理人：

陈鹏

法律状态：

公开

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-30	公开	公开
2024-09-17	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240428

共 50 条

[1]

晶圆翘曲测量方法及晶圆翘曲测量装置 [P].

王旭 ;

朱龙龙 .

中国专利 :CN119245556A ,2025-01-03

[2]

翘曲控制装置及控制光学膜的翘曲的方法 [P].

陈汉彬 .

中国专利 :CN110989057B ,2020-04-10

[3]

一种半导体晶圆翘曲形变测试设备 [P].

杨国富 ;

李盛峰 .

中国专利 :CN110763149A ,2020-02-07

[4]

中厚板板形翘曲在线控制装置及方法 [P].

刘长瑞 .

中国专利 :CN1478615A ,2004-03-03

[5]

用于在回流工艺期间减轻电路板翘曲的装置、系统和方法 [P].

苏芃 ;

G·甘古利 ;

M·D·哈特兰夫特 .

中国专利 :CN109600931A ,2019-04-09

[6]

一种平板玻璃翘曲缺陷的控制装置及控制方法 [P].

郭利波 ;

郭卫 ;

庄春鹏 ;

沈洁 ;

董明 ;

张艳娟 .

中国专利 :CN114988675A ,2022-09-02

[7]

一种平板玻璃翘曲品质的控制装置及方法 [P].

姚慧慧 ;

刘琎 ;

李文军 ;

葛新庆 .

中国专利 :CN108996893A ,2018-12-14

[8]

一种回流焊设备及其回流焊炉冷水输送控制装置 [P].

程小荣 ;

吴限 ;

谢佳锐 ;

余云辉 ;

陈航 .

中国专利 :CN222037093U ,2024-11-22

[9]

一种防止拼缝处模板翘曲的控制装置 [P].

周新亚 ;

陈冬杰 ;

王俊薛 ;

王书军 ;

常红超 ;

罗永顺 ;

吕超兵 ;

许会娟 ;

吴庭在 .

中国专利 :CN214615444U ,2021-11-05

[10]

一种SMT回流焊控制装置 [P].

方明 .

中国专利 :CN211028484U ,2020-07-17

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