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堆叠晶体管的互连方法、堆叠晶体管及半导体器件
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410301043.7
申请日：
2024-03-15
公开(公告)号：
CN118352305A
公开(公告)日：
2024-07-16
发明(设计)人：
吴恒
郭睿
卢浩然
王润声
黎明
黄如
申请人：
北京大学
申请人地址：
100871 北京市海淀区颐和园路5号
IPC主分类号：
H01L21/768
IPC分类号：
H01L21/76
H01L23/52
H01L27/02
代理机构：
北京善任知识产权代理有限公司 11650
代理人：
纪晓萌;孟桂超
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
北京市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-08-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/768申请日:20240315 |
| 2024-07-16 | 公开 | 公开 |