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堆叠晶体管的互连方法、堆叠晶体管及半导体器件

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410301043.7
申请日：
2024-03-15
公开(公告)号：
CN118352305A
公开(公告)日：
2024-07-16
发明(设计)人：
吴恒 郭睿 卢浩然 王润声 黎明 黄如
申请人：
北京大学
申请人地址：
100871 北京市海淀区颐和园路5号
IPC主分类号：
H01L21/768
IPC分类号：
H01L21/76 H01L23/52 H01L27/02
代理机构：
北京善任知识产权代理有限公司 11650
代理人：
纪晓萌;孟桂超
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
北京市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-08-02 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/768申请日:20240315
2024-07-16 公开 公开
共 50 条
[41]
堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管、器件及设备 [P]. 
吴恒 ;
彭莞越 ;
孙嘉诚 ;
王润声 ;
黎明 ;
黄如 .
中国专利 :CN117936463A ,2024-04-26
[42]
堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管、器件及设备 [P]. 
吴恒 ;
彭莞越 ;
卢浩然 ;
黎明 ;
黄如 .
中国专利 :CN117878061A ,2024-04-12
[43]
堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管、器件及设备 [P]. 
吴恒 ;
葛延栋 ;
卢浩然 ;
王润声 ;
黎明 ;
黄如 .
中国专利 :CN117995776B ,2025-04-29
[44]
堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管、器件及设备 [P]. 
吴恒 ;
葛延栋 ;
卢浩然 ;
王润声 ;
黎明 ;
黄如 .
中国专利 :CN117995776A ,2024-05-07
[45]
堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管、器件及设备 [P]. 
吴恒 ;
孙嘉诚 ;
葛延栋 ;
卢浩然 ;
王润声 ;
黄如 .
中国专利 :CN118943083A ,2024-11-12
[46]
堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管、器件及设备 [P]. 
吴恒 ;
付麒力 ;
郭睿 ;
黎明 ;
王润声 ;
黄如 .
中国专利 :CN119317172A ,2025-01-14
[47]
堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管、器件及设备 [P]. 
吴恒 ;
彭莞越 ;
付麒力 ;
吴旭升 ;
周发龙 ;
王润声 ;
黎明 ;
黄如 .
中国专利 :CN119325273B ,2025-11-18
[48]
堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管、器件及设备 [P]. 
吴恒 ;
彭莞越 ;
付麒力 ;
吴旭升 ;
周发龙 ;
王润声 ;
黎明 ;
黄如 .
中国专利 :CN119325273A ,2025-01-17
[49]
堆叠叉板晶体管的制备方法、堆叠叉板晶体管及器件 [P]. 
吴恒 ;
刘煜 ;
孙嘉诚 ;
王润声 ;
黎明 ;
黄如 .
中国专利 :CN118538670A ,2024-08-23
[50]
堆叠叉板晶体管的制备方法、堆叠叉板晶体管及器件 [P]. 
吴恒 ;
刘煜 ;
卢浩然 ;
葛延栋 ;
孙嘉诚 ;
王润声 ;
黎明 ;
黄如 .
中国专利 :CN117936462A ,2024-04-26
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