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堆叠晶体管的互连方法、堆叠晶体管及半导体器件

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410301043.7
申请日：
2024-03-15
公开(公告)号：
CN118352305A
公开(公告)日：
2024-07-16
发明(设计)人：
吴恒 郭睿 卢浩然 王润声 黎明 黄如
申请人：
北京大学
申请人地址：
100871 北京市海淀区颐和园路5号
IPC主分类号：
H01L21/768
IPC分类号：
H01L21/76 H01L23/52 H01L27/02
代理机构：
北京善任知识产权代理有限公司 11650
代理人：
纪晓萌;孟桂超
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
北京市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-08-02 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/768申请日:20240315
2024-07-16 公开 公开
共 50 条
[21]
堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管及半导体器件 [P]. 
吴恒 ;
蒋婧儒 ;
彭莞越 ;
王润声 ;
许晓燕 ;
黎明 ;
黄如 .
中国专利 :CN119866055B ,2025-11-21
[22]
堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管及半导体器件 [P]. 
吴恒 ;
彭莞越 ;
王润声 ;
黎明 ;
黄如 .
中国专利 :CN118116872A ,2024-05-31
[23]
堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管及半导体器件 [P]. 
吴恒 ;
彭莞越 ;
王润声 ;
黎明 ;
黄如 .
中国专利 :CN118116872B ,2025-11-21
[24]
堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管及半导体器件 [P]. 
吴恒 ;
孙嘉诚 ;
程余吉 ;
黎明 ;
王润声 ;
黄如 .
中国专利 :CN121126852A ,2025-12-12
[25]
堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管及半导体器件 [P]. 
吴恒 ;
彭莞越 ;
卢浩然 ;
蒋婧儒 ;
王润声 ;
黎明 ;
黄如 .
中国专利 :CN119997596B ,2025-09-30
[26]
堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管及半导体器件 [P]. 
吴恒 ;
刘煜 ;
卢浩然 ;
葛延栋 ;
王润声 ;
黎明 ;
黄如 .
中国专利 :CN118486686A ,2024-08-13
[27]
堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管及半导体器件 [P]. 
吴恒 ;
孙方成 ;
王逸勐 ;
王润声 ;
黎明 ;
任鹏鹏 ;
纪志罡 ;
黄如 .
中国专利 :CN120916473A ,2025-11-07
[28]
堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管及半导体器件 [P]. 
吴恒 ;
彭莞越 ;
卢浩然 ;
蒋婧儒 ;
王润声 ;
黎明 ;
黄如 .
中国专利 :CN119997596A ,2025-05-13
[29]
堆叠晶体管的互连方法及堆叠晶体管 [P]. 
吴恒 ;
卢浩然 ;
徐子乔 ;
王润声 ;
黎明 ;
黄如 .
中国专利 :CN120322004A ,2025-07-15
[30]
堆叠晶体管的栅极互连方法、堆叠晶体管、器件及设备 [P]. 
吴恒 ;
彭莞越 ;
卢浩然 ;
郭睿 ;
王润声 ;
黄如 .
中国专利 :CN118366928A ,2024-07-19
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