共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
半导体设备和半导体系统以及半导体系统的操作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311672408.9
申请日：
2023-12-07
公开(公告)号：
CN118689381A
公开(公告)日：
2024-09-24
发明(设计)人：
李宰荣
朴元善
申请人：
爱思开海力士有限公司
申请人地址：
韩国京畿道
IPC主分类号：
G06F3/06
IPC分类号：
G06F13/16
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
王婉馨;张美芹
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-24 | 公开 | 公开 |
| 2024-10-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G06F 3/06申请日:20231207 |