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基板处理装置和基板处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811244242.X
申请日：
2018-10-24
公开(公告)号：
CN109712909B
公开(公告)日：
2024-08-30
发明(设计)人：
沈真宇
金炯俊
申请人：
细美事有限公司
申请人地址：
韩国忠淸南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：
车今智
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-08-30 | 授权 | 授权 |