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基板处理装置和基板处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811105255.9
申请日：
2018-09-21
公开(公告)号：
CN109545641A
公开(公告)日：
2019-03-29
发明(设计)人：
奥格森·加尔斯蒂安
哈鲁特温·梅利基扬
金荣斌
安宗奂
申请人：
申请人地址：
韩国忠淸南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：
车今智
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-04-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20180921 |
| 2021-05-14 | 授权 | 授权 |
| 2019-03-29 | 公开 | 公开 |