学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

基板处理装置和基板处理方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111633984.3
申请日：
2021-12-29
公开(公告)号：
CN114695058B
公开(公告)日：
2025-11-18
发明(设计)人：
桑特·阿雷克赖恩 具滋明
申请人：
细美事有限公司
申请人地址：
韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号
IPC主分类号：
H01J37/32
IPC分类号：
代理机构：
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：
张瑾
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-11-18 授权 授权
共 50 条
[1]
基板处理装置和基板处理方法 [P]. 
桑特·阿雷克赖恩 ;
具滋明 .
中国专利 :CN114695058A ,2022-07-01
[2]
基板处理装置和方法 [P]. 
具滋明 ;
南信祐 ;
安宗焕 ;
罗世源 ;
李俊虎 ;
具重谟 .
中国专利 :CN107665805A ,2018-02-06
[3]
基板处理装置和基板处理方法 [P]. 
奥格森·加尔斯蒂安 ;
哈鲁特温·梅利基扬 ;
金荣斌 ;
安宗奂 .
中国专利 :CN109545641A ,2019-03-29
[4]
基板处理方法和基板处理装置 [P]. 
加藤寿 ;
佐藤润 ;
村田昌弘 ;
大下健太郎 ;
菅野智子 ;
三浦繁博 .
中国专利 :CN104831255A ,2015-08-12
[5]
基板处理装置和基板处理方法 [P]. 
沈真宇 ;
金炯俊 .
中国专利 :CN109712909A ,2019-05-03
[6]
基板处理装置和基板处理方法 [P]. 
加藤寿 ;
菊地宏之 ;
米泽雅人 ;
佐藤润 ;
三浦繁博 .
中国专利 :CN104637769B ,2015-05-20
[7]
基板处理方法和基板处理装置 [P]. 
和田畅弘 ;
小林真 ;
辻本宏 ;
田村纯 ;
直井护 .
中国专利 :CN102280339A ,2011-12-14
[8]
基板处理装置和基板处理方法 [P]. 
沈真宇 ;
金炯俊 .
韩国专利 :CN109712909B ,2024-08-30
[9]
基板处理方法和基板处理装置 [P]. 
东条利洋 ;
山口克昌 ;
宇津木康史 .
中国专利 :CN105990194B ,2016-10-05
[10]
基板处理方法和基板处理装置 [P]. 
内藤启 ;
三好秀典 ;
土场重树 .
中国专利 :CN114300332A ,2022-04-08
12345