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一种晶圆半自动裂片加工设备
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202310076599.6
申请日
:
2023-02-02
公开(公告)号
:
CN118420212A
公开(公告)日
:
2024-08-02
发明(设计)人
:
请求不公布姓名
申请人
:
苏州海杰兴科技股份有限公司
申请人地址
:
215000 江苏省苏州市高新区泰山路688号
IPC主分类号
:
C03B33/033
IPC分类号
:
C03B33/037
代理机构
:
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人
:
刘锋
法律状态
:
公开
国省代码
:
江苏省 常州市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-08-02
公开
公开
2024-09-20
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):C03B 33/033申请日:20230202
共 50 条
[1]
一种晶圆加工设备
[P].
柳天勇
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柳天勇
;
叶林旺
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叶林旺
;
胡长文
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胡长文
.
中国专利
:CN114227961B
,2022-03-25
[2]
一种晶圆加工设备
[P].
高修奎
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机构:
无锡邑文微电子科技股份有限公司
无锡邑文微电子科技股份有限公司
高修奎
;
娄俊飞
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机构:
无锡邑文微电子科技股份有限公司
无锡邑文微电子科技股份有限公司
娄俊飞
;
杨文宾
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机构:
无锡邑文微电子科技股份有限公司
无锡邑文微电子科技股份有限公司
杨文宾
.
中国专利
:CN120527215A
,2025-08-22
[3]
裂片机(硅晶圆半自动)
[P].
请求不公布姓名
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请求不公布姓名
.
中国专利
:CN307811649S
,2023-01-24
[4]
晶圆加工设备
[P].
殷坤
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机构:
威讯联合半导体(德州)有限公司
威讯联合半导体(德州)有限公司
殷坤
;
左瑞
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机构:
威讯联合半导体(德州)有限公司
威讯联合半导体(德州)有限公司
左瑞
;
任学亭
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机构:
威讯联合半导体(德州)有限公司
威讯联合半导体(德州)有限公司
任学亭
;
崔建波
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机构:
威讯联合半导体(德州)有限公司
威讯联合半导体(德州)有限公司
崔建波
;
杨怀维
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机构:
威讯联合半导体(德州)有限公司
威讯联合半导体(德州)有限公司
杨怀维
.
中国专利
:CN223006743U
,2025-06-20
[5]
一种晶圆载台及晶圆加工设备
[P].
马正方
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机构:
江苏众晶半导体有限公司
江苏众晶半导体有限公司
马正方
;
朱国峰
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机构:
江苏众晶半导体有限公司
江苏众晶半导体有限公司
朱国峰
.
中国专利
:CN120453220A
,2025-08-08
[6]
一种晶圆载台及晶圆加工设备
[P].
马正方
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机构:
江苏众晶半导体有限公司
江苏众晶半导体有限公司
马正方
;
朱国峰
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机构:
江苏众晶半导体有限公司
江苏众晶半导体有限公司
朱国峰
.
中国专利
:CN120453220B
,2025-09-02
[7]
一种晶圆运输机构、晶圆加工设备及晶圆运输方法
[P].
张琪
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机构:
新毅东(北京)科技有限公司
新毅东(北京)科技有限公司
张琪
;
符友银
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机构:
新毅东(北京)科技有限公司
新毅东(北京)科技有限公司
符友银
;
朱凯
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机构:
新毅东(北京)科技有限公司
新毅东(北京)科技有限公司
朱凯
.
中国专利
:CN119650501A
,2025-03-18
[8]
半自动晶圆精准对位机构
[P].
李文浩
论文数:
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机构:
西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
李文浩
;
张泽义
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机构:
西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
张泽义
;
乔丽
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机构:
西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
乔丽
;
薛志平
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机构:
西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
薛志平
;
杨晓东
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机构:
西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
杨晓东
;
黄帅波
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机构:
西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
黄帅波
;
王涛
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机构:
西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
王涛
;
王玉亮
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机构:
西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
王玉亮
.
中国专利
:CN120413503A
,2025-08-01
[9]
晶圆导电薄膜加工设备
[P].
刘相华
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刘相华
.
中国专利
:CN209804602U
,2019-12-17
[10]
一种晶圆气浮转台的调节机构和晶圆加工设备
[P].
万先进
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机构:
宁波芯丰精密科技有限公司
宁波芯丰精密科技有限公司
万先进
;
李帆
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机构:
宁波芯丰精密科技有限公司
宁波芯丰精密科技有限公司
李帆
;
谢烨超
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机构:
宁波芯丰精密科技有限公司
宁波芯丰精密科技有限公司
谢烨超
;
尤国振
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机构:
宁波芯丰精密科技有限公司
宁波芯丰精密科技有限公司
尤国振
;
锁志勇
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机构:
宁波芯丰精密科技有限公司
宁波芯丰精密科技有限公司
锁志勇
;
秦宝宏
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机构:
宁波芯丰精密科技有限公司
宁波芯丰精密科技有限公司
秦宝宏
;
边逸军
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机构:
宁波芯丰精密科技有限公司
宁波芯丰精密科技有限公司
边逸军
.
中国专利
:CN223680085U
,2025-12-16
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