一种晶圆半自动裂片加工设备

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202310076599.6
申请日
2023-02-02
公开(公告)号
CN118420212A
公开(公告)日
2024-08-02
发明(设计)人
请求不公布姓名
申请人
苏州海杰兴科技股份有限公司
申请人地址
215000 江苏省苏州市高新区泰山路688号
IPC主分类号
C03B33/033
IPC分类号
C03B33/037
代理机构
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人
刘锋
法律状态
公开
国省代码
江苏省 常州市
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共 50 条
[1]
一种晶圆加工设备 [P]. 
柳天勇 ;
叶林旺 ;
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[2]
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高修奎 ;
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[3]
裂片机(硅晶圆半自动) [P]. 
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[4]
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朱国峰 .
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