一种用纯二氯二氢硅生产多晶硅的设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323117014.5

申请日：

2023-11-17

公开(公告)号：

CN221319339U

公开(公告)日：

2024-07-12

发明(设计)人：

杨昊陈明元姬胜永刘钦宝乔雪荣

申请人：

弘元能源科技(包头)有限公司

申请人地址：

014200 内蒙古自治区包头市固阳县包头金山工业园区管理委员会大楼501室

IPC主分类号：

C01B33/035

IPC分类号：

代理机构：

深圳天融专利代理事务所(普通合伙) 44628

代理人：

周维

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-12	授权	授权

共 50 条

[21]

用于制备二氯二氢硅的方法 [P].

司文学 ;

严大洲 ;

肖荣晖 ;

汤传斌 ;

杨永亮 .

中国专利 :CN103408026B ,2013-11-27

[22]

一种多晶硅三氯氢硅汽化器 [P].

郭建彬 ;

张华 ;

杜家洪 .

中国专利 :CN205953538U ,2017-02-15

[23]

一种利用二氯二氢硅与四氯化硅合成三氯氢硅的装置 [P].

谭德军 ;

李俊佼 ;

罗海玲 .

中国专利 :CN203602365U ,2014-05-21

[24]

一种多晶硅还原生产装置 [P].

陈喜清 ;

银波 ;

潘小龙 ;

陈朝霞 ;

张伟 ;

刘桂林 .

中国专利 :CN202880902U ,2013-04-17

[25]

生产多晶硅的方法 [P].

沈祖祥 ;

严大洲 ;

汤传斌 ;

肖荣晖 ;

毋克力 .

中国专利 :CN101376499A ,2009-03-04

[26]

多晶硅的生产方法及多晶硅生产系统 [P].

潘从伟 ;

黄金锋 ;

何隆 ;

谢照福 ;

邵威 .

中国专利 :CN121085278A ,2025-12-09

[27]

一种多晶硅生产中的三氯氢硅生产工艺中的启炉方法 [P].

钟建伟 ;

甘居富 ;

游书华 ;

彭中 ;

王亚萍 .

中国专利 :CN109607549A ,2019-04-12

[28]

一种二氯二氢硅反歧化反应生成三氯氢硅的系统 [P].

文德育 ;

甘居富 ;

罗周 ;

游书华 ;

彭中 ;

向春林 ;

王亚萍 .

中国专利 :CN208747643U ,2019-04-16

[29]

二氯二氢硅歧化制备硅烷的装置 [P].

李波 ;

宫有圣 ;

汤川·理查德 ;

唐威 .

中国专利 :CN202744340U ,2013-02-20

[30]

一种电子级多晶硅生产用三氯氢硅的制备方法 [P].

彭中 ;

李寿琴 ;

刘逸枫 ;

甘居富 ;

罗周 ;

向春林 ;

程茂林 ;

杜炳胜 .

中国专利 :CN115490236B ,2024-03-29

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