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一种用于硅片制造的边缘抛光装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322704709.7
申请日：
2023-10-08
公开(公告)号：
CN221658832U
公开(公告)日：
2024-09-06
发明(设计)人：
霍育强
申请人：
池州首开新材料有限公司
申请人地址：
247000 安徽省池州市江南产业集中区新材料产业园11#厂房
IPC主分类号：
B24B9/06
IPC分类号：
B24B29/02
B24B55/06
B24B55/12
代理机构：
安徽新润知识产权代理事务所(普通合伙) 34320
代理人：
王照柱
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
南京市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-06 | 授权 | 授权 |