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誘電体バリア放電プラズマリアクタ[ja]
被引：0
申请号：
JP20230572855
申请日：
2022-04-27
公开(公告)号：
JP2024522100A
公开(公告)日：
2024-06-11
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
B01J19/08
IPC分类号：
B01J12/02
C23C16/503
H05H1/24
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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