基板加工装置及び基板加工方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20240123271

申请日：

2024-07-30

公开(公告)号：

JP2024149563A

公开(公告)日：

2024-10-18

发明(设计)人：

TANOUE HAYATO

申请人：

TOKYO ELECTRON LTD

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/304

IPC分类号：

B24B7/04

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日

法律状态

法律状态信息

共 50 条

[1]

基板加工方法及び基板加工装置[ja] [P].

日本专利 :JP6202694B2 ,2017-09-27

[2]

基板加工装置及び基板加工方法[ja] [P].

日本专利 :JP7592210B2 ,2024-11-29

[3]

基板加工装置及び基板加工方法[ja] [P].

日本专利 :JP6909535B2 ,2021-07-28

[4]

基板加工方法及び基板加工装置[ja] [P].

日本专利 :JP5995045B2 ,2016-09-21

[5]

基板加工方法、及び基板加工装置[ja] [P].

日本专利 :JP7655651B2 ,2025-04-02

[6]

基板加工装置及び基板加工方法[ja] [P].

日本专利 :JP7603875B2 ,2024-12-20

[7]

基板加工方法、及び基板加工装置[ja] [P].

HAYAKAWA SUSUMU ;

YAMASHITA YOHEI ;

MIZOMOTO YASUTAKA .

日本专利 :JP2025085681A ,2025-06-05

[8]

基板加工装置及基板加工方法 [P].

中谷郁祥 ;

岩坪佑磨 .

中国专利 :CN102649199B ,2012-08-29

[9]

基板加工方法及基板加工装置 [P].

苏宇航 ;

前田宪一 .

中国专利 :CN112296542A ,2021-02-02

[10]

基板加工方法及基板加工装置 [P].

苏宇航 ;

前田宪一 ;

井上修一 .

中国专利 :CN112297251A ,2021-02-02

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