共 50 条
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ＳｉＣデバイス及びＳｉＣデバイスの製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20240023280
申请日：
2024-02-19
公开(公告)号：
JP2024050958A
公开(公告)日：
2024-04-10
发明(设计)人：
TANAKA KENSHO
UMEDA KIICHI
申请人：
RESONAC HOLDINGS CORP
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/205
IPC分类号：
C23C16/42
C30B25/20
C30B29/36
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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