ケイ素前駆体化合物、それを含むケイ素含有膜形成組成物、及びケイ素含有膜形成組成物を使用することによって膜を形成するための方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20240502454

申请日：

2022-07-13

公开(公告)号：

JP2024525999A

公开(公告)日：

2024-07-16

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

C23C16/40

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日

法律状态

法律状态信息

共 50 条

[1]

ケイ素前駆体化合物、ケイ素前駆体化合物を含むケイ素含有膜を形成するための組成物、及びケイ素含有膜を形成するための組成物を使用して膜を形成するための方法[ja] [P].

日本专利 :JP2024527743A ,2024-07-26

[2]

ケイ素含有膜を形成するためのケイ素前駆体化合物及び方法[ja] [P].

日本专利 :JP7683037B2 ,2025-05-26

[3]

ケイ素含有膜を形成するためのケイ素前駆体化合物及び方法[ja] [P].

日本专利 :JP2024518754A ,2024-05-02

[4]

ケイ素前駆体化合物及びケイ素含有膜を形成するための方法[ja] [P].

日本专利 :JP2023531513A ,2023-07-24

[5]

ケイ素含有膜を形成するための方法、及び、その方法によって形成されるケイ素含有膜[ja] [P].

日本专利 :JP2024526692A ,2024-07-19

[6]

ケイ素化合物を用いる膜形成組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2011049078A1 ,2013-03-14

[7]

ケイ素化合物を用いる膜形成組成物[ja] [P].

日本专利 :JP5757242B2 ,2015-07-29

[8]

ケイ素含有膜形成組成物、およびそれを用いたケイ素含有膜の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2024544635A ,2024-12-03

[9]

有機ケイ素化合物を含有する組成物[ja] [P].

日本专利 :JP7115621B1 ,2022-08-09

[10]

ケイ素化合物、及びそのケイ素化合物を使用する膜を堆積するための方法[ja] [P].

日本专利 :JP7568714B2 ,2024-10-16

← 1 2 3 4 5 →