半導体装置の製造方法および半導体装置[ja]

被引：0

申请号：

JP20220157633

申请日：

2022-09-30

公开(公告)号：

JP2024051448A

公开(公告)日：

2024-04-11

发明(设计)人：

IKEJIRI MASAHIRO AKIYAMA KOJI FUJIWARA NAONORI YAMAZAKI KAZUYOSHI

申请人：

TOKYO ELECTRON LTD

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/316

IPC分类号：

H10B12/00

代理机构：

代理人：

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法律状态信息

共 50 条

[1]

半導体装置および半導体装置の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015098225A1 ,2017-03-23

[2]

半導体装置の製造方法および半導体装置[ja] [P].

IKEJIRI MASAHIRO ;

TERABAYASHI MASAKI ;

MAEKAWA KOJI ;

AKIYAMA KOJI .

日本专利 :JP2024067682A ,2024-05-17

[3]

半導体装置および半導体装置の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP7023438B1 ,2022-02-21

[4]

半導体装置および半導体装置の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2005013374A1 ,2006-09-28

[5]

半導体装置の製造方法、および、半導体装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2019049632A1 ,2019-11-07

[6]

半導体装置および半導体装置の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2018020849A1 ,2018-11-01

[7]

半導体装置の製造方法、半導体装置、半導体製造装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2013153777A1 ,2015-12-17

[8]

半導体装置、表示装置および半導体装置の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015019857A1 ,2017-03-02

[9]

半導体装置、表示装置および半導体装置の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2013105473A1 ,2015-05-11

[10]

半導体装置、および半導体装置の作製方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020084406A1 ,2021-10-28

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