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モリブデンターゲットおよびその製造方法[ja]
被引:0
申请号
:
JP20230080476
申请日
:
2023-05-15
公开(公告)号
:
JP7394249B1
公开(公告)日
:
2023-12-07
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
C23C14/34
IPC分类号
:
B22F1/00
B22F1/052
B22F3/14
B22F3/15
C22C1/04
C22C27/04
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
スパッタリングターゲットおよびその製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2015068535A1
,2017-03-09
[2]
タングステンターゲットおよびその製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2012042791A1
,2014-02-03
[3]
ITOスパッタリングターゲット材およびその製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2015125588A1
,2017-03-30
[4]
ITOスパッタリングターゲット材およびその製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JP5816394B1
,2015-11-18
[5]
モリブデン合金管ターゲット材の調製方法、モリブデン合金管ターゲット材及び用途[ja]
[P].
日本专利
:JP2025507240A
,2025-03-18
[6]
Mo系スパッタリングターゲット板,および,その製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2008084863A1
,2010-05-06
[7]
スパッタリングターゲット及びその製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2018173517A1
,2020-01-23
[8]
スパッタリングターゲット及びその製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2017502166A
,2017-01-19
[9]
スパッタリングターゲット及び、その製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2017213185A1
,2019-04-04
[10]
スパッタリングターゲット及びその製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2013145818A1
,2015-12-10
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