モリブデンターゲットおよびその製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20230080476
申请日
2023-05-15
公开(公告)号
JP7394249B1
公开(公告)日
2023-12-07
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C14/34
IPC分类号
B22F1/00 B22F1/052 B22F3/14 B22F3/15 C22C1/04 C22C27/04
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
スパッタリングターゲットおよびその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2015068535A1 ,2017-03-09
[2]
タングステンターゲットおよびその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2012042791A1 ,2014-02-03
[7]
スパッタリングターゲット及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018173517A1 ,2020-01-23
[8]
スパッタリングターゲット及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2017502166A ,2017-01-19
[9]
スパッタリングターゲット及び、その製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2017213185A1 ,2019-04-04
[10]
スパッタリングターゲット及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2013145818A1 ,2015-12-10