共 50 条
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スパッタリングターゲット及びその製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20160526772
申请日：
2014-10-27
公开(公告)号：
JP2017502166A
公开(公告)日：
2017-01-19
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
B22F1/00
B22F3/10
C22C27/04
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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