モリブデン合金管ターゲット材の調製方法、モリブデン合金管ターゲット材及び用途[ja]

被引：0

申请号：

JP20240529933

申请日：

2023-05-22

公开(公告)号：

JP2025507240A

公开(公告)日：

2025-03-18

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

B22F1/14 B22F3/02 B22F3/15 B22F3/20 B22F3/24 C22C27/04 C22C30/00 C22F1/18 C23C14/14

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

モリブデン合金管ターゲット材の調製方法、モリブデン合金管ターゲット材及び用途[ja] [P].

日本专利 :JP7782042B2 ,2025-12-08

[2]

モリブデンターゲットの製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2012043227A1 ,2014-02-06

[3]

モリブデン合金ターゲット材及びその調製方法並びに応用[ja] [P].

日本专利 :JP2024530077A ,2024-08-15

[4]

モリブデンターゲットおよびその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP7394249B1 ,2023-12-07

[5]

スパッタリングターゲット材、及びスパッタリングターゲット[ja] [P].

日本专利 :JP6557750B1 ,2019-08-07

[6]

スパッタリングターゲット用ターゲット材の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2006038538A1 ,2008-05-15

[7]

スパッタリングターゲット材[ja] [P].

日本专利 :JP5808513B1 ,2015-11-10

[8]

スパッタリングターゲット材[ja] [P].

日本专利 :JP7205999B1 ,2023-01-17

[9]

スパッタリングターゲット材[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015170534A1 ,2017-04-20

[10]

スパッタリングターゲット及び、スパッタリングターゲットの製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2022125041A ,2022-08-26

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