基板処理システム、スケジュール作成方法、記録媒体、及び、スケジュール作成プログラム[ja]

被引:0
申请号
JP20220151071
申请日
2022-09-22
公开(公告)号
JP2024045960A
公开(公告)日
2024-04-03
发明(设计)人
YAMAMOTO SHINJI HORIGUCHI HIROSHI
申请人
SCREEN HOLDINGS CO LTD
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/02
IPC分类号
G06N3/08
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[2]
管理システム、テスト方法及びプログラム[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2017145899A1 ,2018-12-20
[3]
ゲームシステム、ゲームシステムの制御方法およびプログラム[ja] [P]. 
OKUAKI MASATO ;
UCHIYAMA TAKASHI ;
SUDA SATOSHI .
日本专利 :JP2024018542A ,2024-02-08
[6]
省エネルギー診断システム、方法及びプログラム[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018164283A1 ,2019-03-14
[7]
[8]
情報処理システム及び情報処理プログラム[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025145678A ,2025-10-03